가상계측(Virtual Metrology)

제111회3교시AI/신기술신규

정보관리기술사 제111회 3교시 20번 문항으로, 과목은 AI/신기술입니다. ‘머신러닝’ 키워드는 정보관리기술사 기출 4문항에 나왔습니다.

원문 문제

정보관리기술사 제111회 20번. 가상계측(Virtual Metrology)

핵심 키워드

가상 계측
머신러닝
공정 모니터링
측정 데이터
예측 분석
반도체 제조

고득점 가이드 — 1. 개요

가상계측(Virtual Metrology, VM)은 반도체 공정 장비에서 수집되는 센서·레시피 데이터를 입력으로 삼아, 실측 없이도 후속 공정 결과(두께·임계 치수·전기 특성 등)를 머신러닝 모델로 예측하는 기법이다. 모든 웨이퍼를 물리 계측 장비로 측정하면 처리 시간·비용·장비 가동률 손실이 발생하므로, 샘플링 계측의 빈공간을 VM 예측치로 채워 전수 모니터링에 근접한 가시성을 확보하는 것이 도입 목적이다.

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출제 이력

가상 계측기출 1문항
머신러닝기출 4문항
공정 모니터링기출 1문항
측정 데이터기출 1문항
예측 분석기출 1문항
반도체 제조기출 1문항

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